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罗伯特·博世请求微机电声学结构元件专利用于与流体压力梯度相互作用

来源:超音频系列    发布时间:2024-11-25 07:12:59

  金融界2024年10月30日音讯,国家知识产权局信息数据显现,罗伯特·博世有限公司请求一项名为“微机电声学结构元件”的专利,公开号CN 118828324 A,请求日期为2024年4月。

  专利摘要显现,本发明触及一种微机电结构元件、尤其是微机电声学结构元件、尤其是微机电麦克风,其用于与流体的压力梯度相互作用。尤其是,该流体可所以空气。微机电结构元件具有衬底、至少一个微机电换能器,该衬底具有贯穿腔,该微机电换能器由中心载体层以及与中心载体层间离隔的两个膜片元件组成。中心载体层具有至少一个中心电极。膜片元件别离具有能够独自触点接通的外电极。膜片元件与中心载体层一同至少部分地在该中心载体层两边构成一个或许多个空腔微机电换能器至少部分地横跨贯穿腔还能够沿着竖直的运动方向变形。微机电换能器具有曲折区域。微机电换能器在竖直运动方向上的变形导致曲折区域的曲折。在中心载体层与膜片元件之间安置有距离坚持件。所述距离坚持件中的至少一个距离坚持件安置在曲折区域中。

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